内容紹介 CPUやメモリなどの半導体からお菓子の袋や窓ガラスまで,薄膜作製技術は現代の生活に欠かせない重要な基盤技術となっています. しかし,その内容は未だに体系的に構築されておらず,現場技術者の経験と勘に頼ることが多くなっています. 本書は,そのような薄膜デバイス作製の現場で使われている各種手法を,できるだけ学術的かつ体系的に理解できるようにくわしく説明しました. 薄膜特有のナノレベルの物性や,薄膜作成に欠かせないプラズマ物理などが,わかりやすく説明されています. 内容（「BOOK」データベースより） 薄膜特有の物性/プラズマ物理の基礎/応用事例、薄膜作成に欠かせない理論とノウスウを体系的に解説。 著者について 金沢工業大教授 博(工) 著者略歴 (「BOOK著者紹介情報」より) 草野/英二 1983年神戸大学大学院工学研究科工業化学専攻修士課程修了。日本板硝子株式会社入社。1995年日本板硝子株式会社退社。金沢工業大学工学部助教授。2001年金沢工業大学工学部教授。2008年金沢工業大学バイオ・化学部教授。博士(工学)(本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです)